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CVD用固态微波功率源

发布日期:2022-09-01 17:49:07

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采用第三代氮化镓半导体,具有高频率一致性和稳定性, 且集成度高,尺寸小、寿命高等特性;

♦可直接与各类射频CVD设备直接集成,应用于金刚石等材料的生长;

♦可设计与研制不同工作模式的氮化镓基固态微波功率源,满足各类射频CVD设备对高可靠、高集成、高微波特性的技术需求,提升CVD设备的稳定性;

♦主要用于各类射频CVD设备,为其提供微波功率,可扩展应用为微波消毒、微波医疗等领域;

♦可依据客户要求进行各类微波功率大小和功率频率的设计与开发,相对传统微波功率源具有性能高、稳定性好的特性。

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