异质集成工艺服务
发布日期:2023-10-31 17:24:24
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♦晶圆键合:提供6英寸及以下超高真空键合、表面活化键合、聚合物键合、热压键合、共晶键合等多种类晶圆及非标准片键合服务;
♦衬底减薄:提供Si、SiC、GaN、GaAs、InP、LiNbO3、石英等材料衬底减薄服务;
♦表面平坦化:提供Si、SiC、GaN、GaAs、InP、LiNbO3、石英等材料表面亚纳米级精细抛光服务。
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